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UP-S级氢氟酸(企业标准)
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项目 |
单位 |
指标 |
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含量 |
% |
49%±0.2 |
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氟硅酸（H2SiF6） |
mg/l |
≤25 |
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氯化物(Cl) |
mg/l |
≤5 |
|
硝酸盐(NO3) |
mg/l |
≤3 |
|
磷酸盐(PO4) |
mg/l |
≤1 |
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硫酸盐和亚硫酸盐(SO4) |
mg/l |
≤5 |
|
颗（≥1.0μm） |
Ea/ml |
≤10 |
|
锂（Li） |
ppb |
≤1 |
镓（Ga） |
ppb |
≤1 |
|
铍（Be） |
ppb |
≤1 |
锗（Ge） |
ppb |
≤1 |
|
硼（B） |
ppb |
≤1 |
砷（As） |
ppb |
≤1 |
|
钠（Na） |
ppb |
≤1 |
锶（Sr） |
ppb |
≤1 |
|
镁（Mg） |
ppb |
≤1 |
锆（Zr） |
ppb |
≤1 |
|
铝（Al） |
ppb |
≤1 |
钼（Mo） |
ppb |
≤1 |
|
钾（K） |
ppb |
≤1 |
银 (Ag) |
ppb |
≤1 |
|
钙（Ca） |
ppb |
≤1 |
镉 (Cd) |
ppb |
≤1 |
|
鈦（Ti） |
ppb |
≤1 |
锡 (Sn) |
ppb |
≤1 |
|
钒（V） |
ppb |
≤1 |
钡 (Ba) |
ppb |
≤1 |
|
铬（Cr） |
ppb |
≤1 |
铅 (Pb) |
ppb |
≤1 |
|
锰 (Mn) |
ppb |
≤1 |
鉍（Bi） |
ppb |
≤1 |
|
铁（Fe） |
ppb |
≤1 |
锑（Sb） |
ppb |
≤1 |
|
钴（Co） |
ppb |
≤1 |
铜（Cu） |
ppb |
≤1 |
|
镍（Ni） |
ppb |
≤1 |
锌（Zn） |
ppb |
≤1 |
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